耦合传动、伺服驱动、洁净传动及润滑、SCARA手臂结构，具有占用空间小、大伸缩比、高精度、高洁净度等优点。迎合个性化设计，手指及接口用户可定制，网络化控制系统，高效率传片和碰撞保护功能，SEMI认证S2、F47，MCBF大于1000万次。负责完成晶圆在FOUP、缓冲室、工艺位置等之间的自动传送。是半导体行业的优越之选择。
柱坐标型/SCARA型
2寸/4寸/6寸/8寸/12寸/
≤0.5kg
4
2
586mm
450mm
340°
660mm
0.7s/180°
1.2S/450mm
ISO CLASS 1
70kg
660mm
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