采用磁流体密封技术，网络化控制系统，具有先进的防碰撞保护功能及动态纠偏功能，拥有SEMI认证，同时具备超高洁净度，耐高温、耐腐蚀，负载能力强等特点。满足个性化设计支持用户定制，负载、手臂长度可选，可提供接口及末端定制服务。 了解更多

磁流体密封、网络化控制器、MCBF大于1000万次，SEMI认证S2，F47，迎合个性化设计具有手臂长度、自由度可选，手指及接口用户可定制的特征，耐高温、耐腐蚀，动态纠偏和碰撞保护功能。 了解更多

直驱电机结构，全新的IO模块，具有先进的防碰撞保护功能及输入信号支硬件中断功能，拥有SEMI认证。满足个性化设计支持用户定制，手臂长度可选，可为客户提供接口及末端定制服务。 了解更多

高洁净等级，高精度，高速传片，耐腐蚀，碰撞保护，Mapping功能，SEMI认证，提供接口及末端定制。 了解更多

高洁净等级，高速传片，碰撞保护，Mapping，SEMI认证S2，F47，迎合个性化设计手指及接口用户可定制 了解更多

一体化，自动化程度高，安全区保护,SEMI认证S2、F47,网络化控制器,接口可用户定制，拥有新松自主研发的控制器，Aligner，方便在视窗观察的可拆卸单元门，易移动框架，带有隔离的风扇 过滤系统，可拆分的设备结构，保证设备洁净、可靠的运行 了解更多

一体化程度高，自动化程度高，安全区保护,SEMI认证S2、F47,网络化控制器,接口可用户定制…… 了解更多

定位精度高,对准速度快,网络化控制器,适用于Notch和Flat缺口类型,采用真空负压吸附。 了解更多

磁流体密封、网络化控制器、MCBF大于1000万次，SEMI认证S2，F47，迎合个性化设计具有手臂长度、自由度可选，手指及接口用户可定制的特征，耐高温、耐腐蚀，动态纠偏和碰撞保护功能。 了解更多